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氢氟酸的溶液处理碳化硅表面新方法

来源:/news/39.html
发布时间:2016-01-04

  今天就由小编为大家简单的介绍一下有关氢氟酸的溶液处理碳化硅表面新方法的知识,希望可以帮助大家,请大家跟随小编一起来了解一下以下的内容介绍吧。
  经氢氟酸作用氮化硅表面后,可将氮化硅表面的非极性基团刻蚀掉,例如将氧化的含氮基团脱氧变成极性基团,同时暴露出更多的Si-N键,这种Si-N键是一种极性较高的键。这些含氮的基团(-NH2,-NH)和有较高极性的Si-N键都呈现亲水性,减小了薄膜与溶液的接触角,增加了氮化硅表面的亲水性。采用本发明方法可以简单地增加表面的亲水性,从而在后续氮化硅表面获得全面积的均匀喷涂或者旋涂薄膜。
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